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MKS RPS AX7695 是一款用于半导体晶圆加工的高性能远程射频等离子体源。它能够提供高质量的反应性气体，用于去除污染物、辅助材料沉积等工艺。该模块集成了石英真空腔体，具有紧凑的设计和易于操作的特点。
产品参数与规格
功能特点：
- 高性能： 提供高质量的反应性气体，满足半导体制造的高精度要求。
集成设计： 集成石英真空腔体，结构紧凑。
- 易于操作： 操作简单，便于集成到生产线中。
- 多种气体兼容性： 支持氟、NF3、氧气、氮气和氢气等多种工艺化学品。
技术参数（具体参数请参考MKS官方数据手册）：
- 等离子体类型： 射频等离子体
- 腔体材料： 石英
- 气体兼容性： 氟、NF3、氧气、氮气、氢气等
- 功率： 根据具体型号而异
- 频率： 根据具体型号而异
- 尺寸和重量： 根据具体型号而异
应用领域
- 半导体制造： 用于晶圆清洗、薄膜沉积等工艺。
- 微电子器件制造： 用于去除表面污染物，改善器件性能。
