近日，中集安瑞科旗下石家庄安瑞科气体机械有限公司（以下简称“石家庄安瑞科”）成功交付全国首台磷烷与氢气混合气管束式集装箱，标志着我国电子气体储运装备领域实现新的突破。
据了解，该管束式集装箱由中集安瑞科自主研发，是一种专用于批量储运磷烷与氢气混合气的特种设备。在半导体制备工艺中，需要经常采用一定浓度的磷烷和氢气混合气体（属于电子气体的一种），目前市面上这类气体储运主要采用高纯度高压气瓶（Y-ton气瓶）、小气瓶，而此次交付的管束式集装箱可储气13m³，单次运输的储气量等同于200个小气瓶的储气量，大幅降低气体公司的运营成本，满足半导体行业大量用气的需求。
同时，由于磷烷与氢气的混合气极易燃烧、具有强毒性，该装备在设计上做到“零泄露”，在管路与阀门之间完全采用轨道焊接，极大地提高了产品的安全性。
中集安瑞科有关负责人表示，石家庄安瑞科作为国内规模最大的电子气体储运装备供应商，多年来在磷烷与氢气混合气储运装备上深入研究，已经掌握关键的核心技术，此次推出大容积管束式集装箱将进一步推动半导体行业的发展，为我国实现“芯片强国”贡献力量。
