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MKS 839-13521-1模块
产品名称
MKS 839-13521-1模块
产品描述
MKS 839-13521-1模块是MKS公司生产的用于气体流量控制的MFC模块，它可以精确控制气体的流量。该模块具有以下特点：
- 支持精确的气体流量控制
支持多种气体类型
- 支持多种流量范围
- 支持模拟量输入和输出
- 支持RS-232和RS-485通信
产品参数
- 模块类型：MFC模块
- 流量范围：0-100 SCCM
- 气体类型：氮气、氩气、氦气等
- 精度：±1%
- 重复性：±0.5%
- 响应时间：<100ms
- 通信协议：RS-232、RS-485
规格
- 尺寸：176 x 89 x 32 mm
- 重量：0.45 kg
- 电源要求：24 VDC
- 功耗：10 W
- 环境温度：0°C 到 60°C
