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产品名称
应用材料（AMAT）0190-37519 半导体设备控制模块（也可称 AMAT 0190-37519 晶圆制造工艺接口板 / 工业自动化控制卡）
2. 产品描述
0190-37519 模块是应用材料（Applied Materials）专为半导体高端制造设备设计的核心控制模块，主要适配晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积等半导体核心制程设备的自动化控制系统。作为连接设备执行机构与主控系统的关键组件，该模块集成了高精度信号采集、实时数据处理和设备间通信功能，是半导体生产设备实现自动化运行的重要硬件支撑。
该模块采用工业级高可靠性设计，能够适应半导体工厂洁净室的严苛环境（恒温恒湿、低尘、抗电磁干扰），具备抗震动、耐腐蚀的特性。其模块化插拔结构便于安装、维护与快速更换，可与应用材料旗下各类半导体生产设备的主控单元、传感器及执行器无缝对接，实现对温度、压力、气体流量等关键工艺参数的精准监测与调控，保障半导体制造流程的稳定性和高精度，符合半导体行业的设备运维与生产标准。
3. 产品参数
0190-37519 模块为应用材料定制化半导体设备配件，公开的详细参数有限，结合同系列产品特性及半导体设备控制模块行业通用标准，核心参数如下：
| 参数类别 | 具体规格 |
|---|---|
| 产品类型 | 半导体设备控制模块 / 工艺接口板 |
| 生产厂家 | 应用材料（Applied Materials, AMAT） |
| 工作电压 | DC 24V（典型值，适配半导体设备工业供电系统） |
| 输入信号类型 | 模拟量（4-20mA、0-10V）、数字量（TTL/CMOS 电平） |
| 输出信号类型 | 模拟量（4-20mA、0-10V）、数字量（继电器输出、TTL 电平） |
| 通信接口 | RS485、工业以太网（支持 Modbus TCP/IP 等协议）、AMAT 设备专用总线 |
| 工作温度范围 | 0℃至 + 50℃（半导体洁净室标准工况） |
| 存储温度范围 | -20℃至 + 60℃ |
| 湿度适应范围 | 10% 至 90% RH（非凝露，符合半导体工厂洁净室湿度要求） |
| 抗干扰能力 | 符合 IEC 61000-6-2 工业电磁兼容标准，抗射频干扰、静电放电 |
| 安装方式 | 设备内部卡槽式安装 / 19 英寸工业机柜导轨安装 |
