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- 产品名称2：AMAT 0010 - 27983 MCA E - CHUCK ESC 加热器。
- 产品描述2：这是半导体制造行业中用于特定工艺环节的设备。E - CHUCK ESC 即静电卡盘，是晶圆制造过程中用于固定工件（通常为晶圆）以便进行加工、测量、装配等操作的重要零部件。该模块利用静电吸附原理，将晶圆均匀稳定地固定在卡盘上，保证晶圆平整度和加工精度，且工作时污染小，有助于提高晶圆加工良率。而 0010 - 27983 MCA E - CHUCK ESC 加热器可能是用于维持静电卡盘及其吸附的晶圆在特定温度范围内，确保加工过程的稳定性和精度。
- 产品参数：暂无确切公开的详细参数信息。推测可能具有精确的温度控制系统，能在半导体制造工艺所需的温度范围内精确控温，确保晶圆温度稳定；具备快速响应能力，可实时监测并快速响应温度变化；采用高性能材料和制造工艺，以保证长寿命和高可靠性5。
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