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ZYGO 4104C 精密测量与控制模块
产品描述
ZYGO 4104C 是一款专注于高精度测量与精准控制领域的模块，广泛应用于光学制造、半导体加工、精密机械加工等对精度要求极高的行业。作为精密测量与控制系统的核心组件，它主要负责对位移、角度、表面形貌等物理量进行高精度检测，并依据测量数据实现精准控制，为精密加工和质量检测提供可靠支持，确保产品达到严苛的精度标准。
在硬件设计上，4104C 模块采用高稳定性架构，具备出色的抗干扰能力，可有效抵御环境振动、温度变化、电磁干扰等因素对测量精度的影响。模块内部集成了先进的传感器信号处理芯片和高精度数据采集电路。传感器信号处理芯片能够对来自激光干涉仪、光栅尺等精密传感器的信号进行高效解析与处理，确保测量数据的准确性和稳定性；高精度数据采集电路则以极快的采样速率和超高的分辨率对信号进行采集，不放过任何细微的变化，为精确测量提供有力保障。此外，模块还配备了高速数据传输接口，可快速将测量数据传输至主控系统，满足实时监测与控制的需求。
通信方面，ZYGO 4104C 模块支持多种工业通信协议，如以太网、RS - 485 等，能够与 PLC、计算机等主控设备实现无缝连接。以太网接口支持高速数据传输，便于将测量数据实时上传至监控系统，实现远程监测与数据分析；RS - 485 接口则适用于长距离通信场景，可稳定连接各类现场设备，构建高效的测量与控制系统网络。
功能特性上，ZYGO 4104C 模块具备强大的测量与控制功能。它能够实现亚纳米级的位移测量精度，精准捕捉微小的位移变化，满足光学镜片研磨、半导体芯片光刻等精密加工工序的测量需求。支持多种测量模式，如绝对测量、相对测量、动态测量等，可根据不同的应用场景灵活选择。在控制功能上，该模块可根据测量数据输出精准的控制信号，对加工设备的运动轴进行反馈调节，实现闭环控制，确保加工精度。同时，模块内置了智能校准与补偿算法，可自动校准测量误差，并对环境因素导致的测量偏差进行实时补偿，进一步提升测量精度。此外，它还具备完善的故障诊断功能，能够实时监测自身运行状态、传感器连接情况以及数据传输质量，一旦检测到异常，立即发出报警并提供详细的故障信息，方便维护人员快速排查和解决问题，保障系统的稳定运行。
产品参数
- 测量参数
- 位移测量范围：[X] mm
- 位移测量精度：亚纳米级（具体为 [X] nm）
- 角度测量范围：[X] °
- 角度测量精度：[X] arcsec
- 采样速率：最高可达 [X] kHz
- 数据采集分辨率：[X] 位
- 输出信号
- 模拟输出：[X] 路，
