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静电吸盘 (ESC)：在半导体制造过程中，静电吸盘用于固定和吸附硅片，以便进行后续的工艺步骤，如刻蚀、沉积等。ESC 需要精确的温度控制，以确保工艺的稳定性和均匀性。
MCA E-CHUCK ESC 加热器：该模块负责为 ESC 提供热量，以达到并维持所需的温度。它通常集成在 ESC 内部或附近。
产品参数：
由于 AMAT 0010-27983 模块的具体参数可能因型号和配置而异，建议您参考相关文档或联系应用材料公司以获取详细信息。但是，以下是一些常见的参数，可能适用于该模块：
- 尺寸： 135 x 186 x 119 mm
- 重量： 1.2 kg
- 加热功率：
- 温度控制范围：
- 电压要求：
- 材料：
接口类型：
规格：
AMAT 0010-27983 模块的规格可能因型号和配置而异。以下是一些常见的规格，建议您参考相关文档或联系应用材料公司以获取详细信息：
- 安装方式：
- 冷却方式：
