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ZYGO 7714 模块是一款高精度激光干涉测量系统中的关键组件。它通常用作位移传感器，用于测量微米级甚至纳米级的位移量。ZYGO 7714 以其高精度、高稳定性和可靠性而广泛应用于精密机械、光学制造、半导体制造等领域。
产品名称解析
- ZYGO: 一家专注于光学测量仪器的美国公司，其产品在精密测量领域享有盛誉。
- 7714: 该模块的具体型号，代表其特定的功能和特性。
产品描述
ZYGO 7714 模块的主要功能包括：
- 高精度位移测量: 利用激光干涉原理，实现高精度、非接触式的位移测量。
- 高分辨率: 能够测量微米级甚至纳米级的位移变化。
- 高稳定性: 具有良好的温度稳定性和长期稳定性。
- 多功能性: 可用于测量线性位移、角度位移、振动等。
产品参数和规格（部分，详细参数请参考产品说明书）
- 测量范围: 根据型号不同，测量范围可达数毫米。
- 测量分辨率: 纳米级
- 测量精度: 高精度，具体精度取决于型号和使用条件。
