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产品描述：
INFICON PSG400 模块是 INFICON 的一种真空计模块，用于测量真空腔的真空度。该模块具有以下特点：
- 采用高精度真空传感器，测量精度高达 0.01 Pa。
- 具有多种测量模式，可满足各种应用需求。
- 采用模块化设计，易于安装和维护。
**产品参数：
- 测量范围：0.01 Pa 至 100 Pa
- 测量精度：0.01 Pa
- 测量重复性：0.005 Pa
- 测量稳定性：0.001 Pa/h
- 工作温度范围：-20 至 60 ℃
**规格：
- 尺寸：90mm x 60mm x 25mm
- 重量：0.2kg
应用领域：
INFICON PSG400 模块可广泛应用于工业自动化领域，如：
- 半导体制造
- 薄膜制造
- 真空冶金
- 真空包装
优势：
INFICON PSG400 模块具有以下优势：
- 精度高：该模块采用高精度真空传感器，测量精度高达 0.01 Pa。
- 功能强：该模块具有多种测量模式，可满足各种应用需求。
- 可靠性高：该模块采用模块化设计，易于安装和维护。
