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YGO ZMI-2002 模块是一款高精度位移测量模块，采用干涉测量原理。该模块具有以下特点：
- 高精度：可测量 0.005 微米的位移变化。
- 高分辨率：可分辨 0.001 微米的位移变化。
- 高线性度：线性度可达 ±0.001 微米。
- 高稳定性：长期稳定性可达 ±0.002 微米。
产品参数：
- 测量范围：±100 微米
- 分辨率：0.001 微米
- 线性度：±0.001 微米
- 长期稳定性：±0.002 微米
- 工作温度：-20℃至70℃
- 防护等级：IP67
规格：
- 尺寸：100mm x 160mm x 50mm
- 重量：0.5kg
应用领域：
ZYGO ZMI-2002 模块可用于各种工业应用，包括：
- 微米级精密测量
- 机械加工
- 半导体制造
- 纳米技术
主要特点：
- 高精度：可测量 0.005 微米的位移变化。
- 高分辨率：可分辨 0.001 微米的位移变化。
- 高线性度：线性度可达 ±0.001 微米。
- 高稳定性：长期稳定性可达 ±0.002 微米。
