JDSU 2213-75TSLKTB 模块 (具体指 JDSU 75mW 氩离子激光器激光头)
产品描述
JDSU 2213-75TSLKTB 是一款由 JDS Uniphase (JDSU,现已更名为 VIAVI Solutions) 公司生产的氩离子激光器激光头。这种激光器是一种气体激光器,以氩气作为工作介质,能够发出特定波长的激光光束。
该模块通常作为半导体晶圆检测系统的核心部件,例如 KLA-Tencor AIT 2 / AIT 3 / AIT XP 和 SP1 DLS 暗场晶圆颗粒检测系统。在这些系统中,激光头发射出高稳定性和高指向性的激光束,用于扫描晶圆表面,以检测微小的颗粒、缺陷或其他污染物。其高精度的激光输出对于确保半导体制造过程的质量控制至关重要。
产品参数
激光类型: 氩离子 (Argon Ion) 激光器
输出功率: 75 mW (毫瓦)
波长: 氩离子激光器通常能发出多个波长的光,最常见的包括蓝色(约 488 nm)和绿色(约 514.5 nm)。具体输出波长需查阅详细数据手册。
光束质量: 通常具有高斯光束轮廓 (TEM00 模式),光束发散角小,指向稳定性高。
功率稳定性: 高度稳定,确保长时间运行的输出功率一致性。
噪声: 低噪声,适用于需要高信噪比的应用,如高灵敏度检测。
预期寿命: 激光器的寿命取决于使用条件和运行时间。
冷却方式: 通常是风冷或水冷(对于高功率型号)。
规格
模块类型: 激光头 (Laser Head),通常需要与配套的电源供应器(如 JDSU 2113-75SLT)配合使用。
物理尺寸: 圆柱形封装,尺寸紧凑,但具体尺寸需查阅官方图纸。
重量: 约 6.55 kg。
接口: 包含电源接口和控制接口,用于与激光电源和外部控制系统连接。