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温度测量范围: - 50℃至 + 200℃,可满足半导体制造设备在不同工艺阶段对温度监测范围的需求 。温度测量精度:可达 0.1℃,确保对设备内部温度的精确感知

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION
  • 温度测量范围: - 50℃至 + 200℃,可满足半导体制造设备在不同工艺阶段对温度监测范围的需求 。
  • 温度测量精度:可达 ±0.1℃,确保对设备内部温度的精确感知,为精准温度控制提供可靠数据基础 。
  • 控制精度:能将受控温度稳定在设定值的 ±0.5℃偏差范围内,保障半导体制造工艺对温度稳定性的严格要求 。
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  • 响应时间:在温度出现变化时,模块能够迅速做出响应,响应时间通常在 1 秒以内,及时调整控制策略,维持温度稳定 。
  • 输入电压:适配常见的工业电压,如 24V DC,允许一定范围的电压波动,波动范围一般为 ±10%,以适应不同工业现场的供电情况 。
  • 功率输出范围:根据所连接的加热或制冷组件的需求,功率输出范围可灵活调整,例如 0 - 1000W,能够为不同功率等级的温控设备提供适配的驱动能力 。

产品规格

  • 物理尺寸:长 150mm、宽 100mm、高 30mm,紧凑的尺寸设计便于安装在半导体制造设备内部有限的空间中 。
  • 重量:约 0.5kg,重量较轻,方便在设备组装、调试和维护过程中的操作 。
  • 安装方式:支持标准的 DIN 导轨安装,通过导轨可便捷地将模块固定在设备控制柜内,安装和拆卸过程简单,便于后期维护和更换 。同时,预留螺丝安装孔位,满足不同用户和安装空间的特殊需求 。
  • 防护等级:达到 IP20 防护等级,可有效防止灰尘和小型异物侵入模块内部,影响其正常工作 。在一些对防护要求更高的特殊应用场景下,可能有更高防护等级(如 IP40、IP54 等)的版本可供选择 。



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