Agilent 5517B

Agilent 5517B 激光头 (Laser Head)

产品描述

Agilent 5517B 激光头是 Keysight Technologies (原 Agilent Technologies) 生产的一款高精度氦氖 (He-Ne) 激光光源。它提供高度稳定和精确的 633 nm 波长激光，主要用于精密双频干涉测量系统。

该激光头是 Keysight 激光干涉仪定位系统的核心组件，广泛应用于需要极高精度位移、长度和位置测量的领域，例如：

• 机床校准和计量： 用于校准数控机床、机器人和自动化系统，确保亚微米级的定位精度。

• 半导体制造： 在光刻、晶圆检测等关键工艺中实现精确对准和定位。

• 坐标测量机 (CMM) 和激光跟踪器： 作为高精度尺寸测量系统的一部分。

• 科学研究与开发： 用于引力波探测、量子光学实验等需要纳米级精度的尖端科学研究。

5517B 激光头以其卓越的可靠性而闻名，平均无故障时间 (MTBF) 通常超过 50,000 小时。

产品参数

• 激光类型： 氦氖 (He-Ne) 激光器，连续波 (CW)

• 波长： 632.99137 nm ± 0.02 ppm (可选校准)

• 真空波长稳定性： 2 ppb (1 小时)；20 ppb (寿命周期)

• 输出功率： 最小 120 µW (微瓦) 至 最大 1 mW (毫瓦)

• 光束直径： 6 mm

• 光束高度： 79.5 ± 1.0 mm

• 参考频率： 1.9 MHz 至 2.4 MHz (选项 H10 可达 2.2 MHz 至 2.4 MHz)

• 最大线性速度 (使用线性光学器件)： 500 mm/s (配合 E1709A 接收器可达 538 mm/s)

• 预热时间： 典型 4 分钟，最长 10 分钟 (达到稳定输出)