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AMAT 0190-35874 模块是由应用材料公司（Applied Materials, AMAT）生产的一款用于控制臭氧浓度的模块。它通常应用于半导体制造等领域，用于控制和监测臭氧的产生和浓度，以满足特定的工艺要求。
产品功能
- 臭氧浓度控制: 该模块能够精确控制臭氧发生器的输出，从而维持稳定的臭氧浓度。
- 多通道控制: 通常具有多个通道，可以同时控制多个臭氧发生器或监测多个测量点。
- 通信接口: 配备RS232等通信接口，方便与上位机或其他设备进行数据交换和控制。
- 报警功能: 具有多种报警功能，如过高浓度报警、故障报警等，确保设备的安全运行。
产品特点
高精度: 能够精确控制臭氧浓度，满足高精度工艺要求。
- 可靠性高: 采用工业级组件，具有较高的可靠性。
- 易于操作: 提供友好的用户界面和操作方式。
- 可扩展性强: 可以根据需求进行扩展，满足不同的应用场景。
