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- 产品名称300 毫米 MCA 静电卡盘加热器（300MM MCA E - CHUCK ESC HEATER），部分商家也将其标注为 300 毫米高温基座组件或 PIB HTB2 MCA 静电卡盘加热器。
- 产品描述该产品是应用材料公司专为半导体制造领域 300 毫米规格静电卡盘打造的专用加热器。在半导体加工过程中，它是维持晶圆温度稳定的核心部件，能通过精准控温保障半导体制造的性能与一致性。其适配的静电卡盘依靠静电吸附原理固定晶圆，具有吸附力均匀、污染小、适配真空环境等优势，可满足离子注入、化学气相沉积等真空环境下的晶圆加工需求，而这款加热器的控温作用，能进一步确保晶圆在这些精密加工环节中的加工精度与良率。
- 产品参数
参数类别 具体内容 产地 有美国和澳大利亚两种标注，主流货源多为美国 重量 不同渠道标注有差异，分别有 1.2 千克、27 千克等版本，推测因是否包含装配部件不同导致重量差异 核心功能 为 300 毫米静电卡盘加热，实现晶圆加工时的精准温度调控 材质 采用耐高温的高纯材料，常见为氮化铝陶瓷、氧化铝等陶瓷或石英材质 加热元件 内置加热元件，如电阻丝、电热膜等，可实现均匀且可控的温度分布 - 产品规格
规格类别 具体内容 适配尺寸 专门适配 300 毫米规格的 MCA 静电卡盘 外形尺寸 某货源标注为 135×186×119 毫米，该尺寸大概率对应加热器核心部件，整体装配后的尺寸需结合静电卡盘整体结构确定 配套特性 搭配温度传感器与控制器，可实时监测并调节温度，适配半导体制造中的真空、高温等恶劣工况 质保期限 多数供应商提供 12 个月的质保服务 
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