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TURBOVAC 361
普发真空（Pfeiffer Vacuum）TURBOVAC 系列涡轮分子真空泵模块（高真空级，风冷式，适配工业真空系统）
型号解读：
- “TURBOVAC”：普发真空涡轮分子泵核心产品系列标识，代表采用 “涡轮分子撞击” 原理实现高真空抽气的技术类型；
- “361”：产品规格代码，“3” 代表中等抽速级别，“61” 代表第三代硬件设计（优化转子结构与电机效率，降低运行噪音与能耗），区别于小抽速型号（如 TURBOVAC 110）或大抽速型号（如 TURBOVAC 950）。
二、产品描述
TURBOVAC 361 是普发真空为工业高真空需求设计的涡轮分子真空泵模块，核心价值在于解决 “快速抽真空 + 稳定维持高真空度” 的双重需求 —— 通过多层涡轮转子与定子的高速相对运动（转子转速达 60,000 rpm），利用分子撞击原理将气体分子从真空腔室输送至前级真空泵，可在短时间内将腔室压力从大气压降至 10⁻⁹ mbar 级别高真空，同时具备风冷式散热（无需水冷系统）、低振动（≤2.5 μm 振幅）、低噪音（≤65 dB (A)）特性，适配半导体晶圆制造、光学元件镀膜、质谱分析仪器等对真空度、稳定性要求严苛的场景。其核心功能与优势包括：
- 高抽速与宽压力范围：针对氮气的抽速达 360 L/s（标准工况），可覆盖从粗真空（10⁻² mbar）到超高真空（10⁻⁹ mbar）的全压力范围，无需更换泵体即可适配不同真空阶段需求；前级压力耐受度达 10⁻² mbar，可搭配小型旋片式前级泵（如普发 DUO 65），简化真空系统配置；
