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ZYGO 8070-0279-01 激光干涉测量信号处理模块（作为高精度光学测量系统的 “信号解析核心”，专注于对激光干涉信号进行精准采集、处理与分析，凭借超高的测量精度和稳定性，广泛应用于半导体制造、光学元件检测、精密机械校准等对几何参数测量有严苛要求的高端领域）
产品描述
ZYGO 8070-0279-01 模块是 ZYGO 公司推出的一款高性能激光干涉测量信号处理模块，专为激光干涉仪系统设计，是实现纳米级精度测量的关键组件。它能够接收来自激光干涉仪光学系统的干涉信号，通过内置的高精度光电转换元件和专用信号处理算法，将光信号转换为电信号并进行数字化处理，最终输出反映被测物体位移、角度、平面度等几何参数的精确数据。
在半导体晶圆检测领域，该模块与激光干涉仪配合，可对晶圆的平面度和厚度均匀性进行高精度测量。激光束经晶圆表面反射后形成干涉条纹，模块采集并解析这些干涉信号，计算出晶圆表面各点的高度偏差，精度可达纳米级别。这一数据为晶圆的精密加工提供了关键依据，确保生产出的芯片电路图案分布均匀，性能稳定。
在高精度机床校准中，ZYGO 8070-0279-01 模块发挥着重要作用。激光干涉仪发射的激光束在机床导轨移动部件上反射，模块实时处理干涉信号，精准测量出移动部件的定位误差、直线度误差等参数。根据这些数据，技术人员可对机床进行精准调校，使机床的加工精度达到微米甚至纳米级，满足航空航天、精密模具等高端制造领域的需求
