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S20360-SRS

S20360 - SRS 模块是一款高性能的伺服驱动器模块,隶属于科尔摩根(Kollmorgen)的 S200 系列产品,专为工业自动化领域中对伺服电机的精确控

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION
S20360 - SRS 模块是一款高性能的伺服驱动器模块,隶属于科尔摩根(Kollmorgen)的 S200 系列产品,专为工业自动化领域中对伺服电机的精确控制而打造。该模块通过精准调控伺服电机的运转,实现各类自动化设备的高精度运动控制,在工业生产中扮演着关键的动力控制角色,助力提升生产效率与产品质量。
产品描述
半导体晶圆切割设备的

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精密运动控制
在半导体晶圆切割工艺里,设备对切割位置的精度要求极高。S20360 - SRS 模块连接并驱动切割设备的伺服电机,其 24 位高分辨率反馈系统,能够将电机的位置精度控制在 ±0.001°,确保切割刀具精准定位在晶圆上,切割偏差小于 0.01mm,极大降低了因切割误差导致的晶圆报废率。模块具备 3 - 5kHz 的高性能电流环路带宽,当切割电机高速运转时,能迅速响应控制指令,在瞬间调整电机的扭矩与转速,保障切割过程稳定、流畅,不会出现卡顿或抖动现象,提高了切割效率,每小时可完成比普通驱动器多 20% 的晶圆切割数量。并且,凭借带有电子电机铭牌的智能反馈装置,工程师在设备调试时无需繁琐的驱动参数设置和伺服环路调整,直接实现即插即用,大大缩短了设备的调试时间,从原本的数小时缩短至半小时以内,加快了新设备投入生产的速度。
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