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MKS RPS AX7695 远程压力传感模块
产品描述
MKS RPS AX7695 是一款高精度远程压力传感模块，主要应用于半导体制造、真空镀膜、实验室研究等对压力测量精度和稳定性要求极高的领域。作为压力监测的核心组件，该模块能实时采集真空系统或气体管路中的压力信号，经过内部信号处理与校准后，将压力数据转换为标准电信号或数字信号输出，为控制系统提供精准的压力反馈，确保工艺过程在预设压力范围内稳定进行。
在半导体晶圆刻蚀工艺中，该模块安装在刻蚀腔室的真空管路中，可测量 1×10⁻⁹至 1×10³ Torr 的宽范围压力，测量精度达 ±0.1% 满量程，响应时间≤10ms，能实时监测刻蚀过程中的压力波动，配合真空阀门控制系统将腔室压力稳定在 ±0.5% 设定值范围内，保障刻蚀图案的均匀性和一致性，提升晶圆良率。在真空镀膜生产线中，它与镀膜腔室连接，连续监测腔室内的惰性气体压力，当压力偏离设定值 5% 时，立即向 PLC 发送信号调节进气流量，使膜层厚度误差控制在 ±2% 以内，单批次产品合格率提高至 99.5%。
模块采用工业级密封设计，防护等级达 IP65，能在 - 10℃至 60℃环境中稳定运行，抗振动性能达 5g 加速度（10-500Hz），可抵御半导体车间的化学腐蚀与电磁干扰。支持与 MKS 的真空控制器（如 Type 651C）及第三方 PLC 无缝通信，通过 RS-485 或以太网接口实现远程数据传输与参数配置，是高精度压力监测系统中的关键感知组件。
产品参数
- 压力测量参数
- 测量范围：1×10⁻⁹ Torr 至 1×10³ Torr（可通过软件配置不同量程段）
- 测量精度：±0.1% 满量程（在 1×10⁻³ 至 1×10³ Torr 范围内），±1% 满量程（在 1×10⁻⁹至 1×10⁻³ Torr 范围内）
- 响应时间：≤10ms（90% 阶跃响应）
- 稳定性：≤±0.05% 满量程 / 小时（25℃环境下）
- 传感器类型：内置电容薄膜规，兼容惰性气体与腐蚀性气体（需定制耐腐蚀版本）
- 电气与通信参数
- 供电电压：DC 24V±10%，典型功耗≤5W
- 输出信号：模拟量输出（4-20mA DC，对应测量范围），数字量输出（RS-485，支持 Modbus RTU 协议）
- 通信接口：1 个 RS-485 接口（波特率 9600-115200bps 可调），1 个以太网接口（可选配，支持 Modbus TCP/IP）
- 信号隔离：输入、输出与电源之间电气隔离，隔离电压 2500V AC（1 分钟）
- 环境参数
- 工作温度范围：-10℃至 60℃（传感器部分），0℃至 50℃（电子部分）
- 存储温度范围：-40℃至 85℃
- 相对湿度：5%-95%（无凝露）
- 抗振动性能：10-500Hz，5g 加速度（三轴向），符合 IEC 60068-2-6 标准
- 电磁兼容：符合 EN 61326-1 标准，静电放电防护 ±8kV（接触）/±15kV（空气）
