MKS RPS AX7695 远程压力传感模块
产品描述
MKS RPS AX7695 是一款高精度远程压力传感模块,主要应用于半导体制造、真空镀膜、实验室研究等对压力测量精度和稳定性要求极高的领域。作为压力监测的核心组件,该模块能实时采集真空系统或气体管路中的压力信号,经过内部信号处理与校准后,将压力数据转换为标准电信号或数字信号输出,为控制系统提供精准的压力反馈,确保工艺过程在预设压力范围内稳定进行。
在半导体晶圆刻蚀工艺中,该模块安装在刻蚀腔室的真空管路中,可测量 1×10⁻⁹至 1×10³ Torr 的宽范围压力,测量精度达 ±0.1% 满量程,响应时间≤10ms,能实时监测刻蚀过程中的压力波动,配合真空阀门控制系统将腔室压力稳定在 ±0.5% 设定值范围内,保障刻蚀图案的均匀性和一致性,提升晶圆良率。在真空镀膜生产线中,它与镀膜腔室连接,连续监测腔室内的惰性气体压力,当压力偏离设定值 5% 时,立即向 PLC 发送信号调节进气流量,使膜层厚度误差控制在 ±2% 以内,单批次产品合格率提高至 99.5%。
模块采用工业级密封设计,防护等级达 IP65,能在 - 10℃至 60℃环境中稳定运行,抗振动性能达 5g 加速度(10-500Hz),可抵御半导体车间的化学腐蚀与电磁干扰。支持与 MKS 的真空控制器(如 Type 651C)及第三方 PLC 无缝通信,通过 RS-485 或以太网接口实现远程数据传输与参数配置,是高精度压力监测系统中的关键感知组件。
产品参数
- 压力测量参数
- 测量范围:1×10⁻⁹ Torr 至 1×10³ Torr(可通过软件配置不同量程段)
- 测量精度:±0.1% 满量程(在 1×10⁻³ 至 1×10³ Torr 范围内),±1% 满量程(在 1×10⁻⁹至 1×10⁻³ Torr 范围内)
- 响应时间:≤10ms(90% 阶跃响应)
- 稳定性:≤±0.05% 满量程 / 小时(25℃环境下)
- 传感器类型:内置电容薄膜规,兼容惰性气体与腐蚀性气体(需定制耐腐蚀版本)
- 电气与通信参数
- 供电电压:DC 24V±10%,典型功耗≤5W
- 输出信号:模拟量输出(4-20mA DC,对应测量范围),数字量输出(RS-485,支持 Modbus RTU 协议)
- 通信接口:1 个 RS-485 接口(波特率 9600-115200bps 可调),1 个以太网接口(可选配,支持 Modbus TCP/IP)
- 信号隔离:输入、输出与电源之间电气隔离,隔离电压 2500V AC(1 分钟)
- 环境参数
- 工作温度范围:-10℃至 60℃(传感器部分),0℃至 50℃(电子部分)
- 存储温度范围:-40℃至 85℃
- 相对湿度:5%-95%(无凝露)
- 抗振动性能:10-500Hz,5g 加速度(三轴向),符合 IEC 60068-2-6 标准
- 电磁兼容:符合 EN 61326-1 标准,静电放电防护 ±8kV(接触)/±15kV(空气)