AMAT 0010-27983

AMAT 0010-27983 300MM MCA E-CHUCK ESC 加热器 (Heater)

这个模块通常被识别为 Applied Materials (应用材料，简称AMAT) 300mm MCA E-Chuck ESC 加热器。它可能是 PIB HTB2 MCA ESC 加热器 的一个型号。

产品描述

AMAT 0010-27983 是一款由 Applied Materials (AMAT) 公司生产的高精度加热组件，专为半导体制造设备中的 300mm 晶圆静电卡盘 (Electrostatic Chuck, ESC) 而设计。在半导体晶圆加工过程中，精确的温度控制至关重要，而这款加热器正是负责控制和维持静电卡盘的温度，从而确保晶圆在刻蚀、沉积或离子注入等工艺过程中的温度一致性。

静电卡盘（ESC 或 E-Chuck）是一种先进的晶圆夹持技术，通过静电力将晶圆吸附在表面。而加热器则嵌入在 ESC 内部，提供均匀、精确的加热，以满足不同工艺对晶圆温度的严格要求。这款模块对于确保晶圆加工的精确性、良率和一致性起着关键作用。

产品参数

• 功能： 为 300mm 静电卡盘 (ESC) 提供精确和均匀的加热。

• 应用： 主要用于半导体制造设备，特别是 300mm 晶圆加工系统（如 AMAT Endura、Centura 等平台）。

• 兼容晶圆尺寸： 300mm (12英寸)。