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LAM 810 - 102361 - 222 联锁电路板是泛林半导体（LAM Research）设备中的关键组件，主要用于实现设备操作过程中的安全联锁功能。该电路板通过监控和控制设备运行状态，在必要时触发保护机制，以确保半导体制造设备的安全运行，保护操作人员和工艺环境。
它采用工业级元器件，具备高可靠性，能够在高温、高湿度等严苛环境中稳定工作，可提供长时间无故障运行的能力，满足半导体制造设备的高可靠性需求。其为紧凑型设计，易于集成到不同设备中，可与其他安全模块或系统无缝配合。此外，内置高性能监控芯片，能够实时检测状态变化，并在毫秒级响应异常。该电路板专为 LAM Research 设备定制，与设备的其他控制系统兼容性良好。
产品参数
- 供电电压：24V DC 或根据设备要求定制。
- 监控通道数：多通道设计，支持多点状态监测。
- 响应时间：小于 5ms。
- 工作温度范围：0℃至 70℃。
