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MKS RPS AX7695 是一款由 MKS 仪器公司制造的集成远程等离子源模块，在半导体晶圆加工等领域应用广泛。该模块将石英真空腔、射频电源及所有必要的控制部件集成于一个紧凑、独立的单元中，方便直接安装在工具工艺腔上。其通过感应耦合等离子体（ICP）放电产生原子自由基，具体过程为：射频功率通过位于真空腔外部的线圈，产生的电磁场耦合到等离子体中，使等离子体内的原子电离，电离后的原子相互碰撞以及与腔壁碰撞，从而产生原子自由基。该模块可搭配多种气体使用，如氧气、氩气和氮气等，具体选用哪种气体取决于实际应用需求，并且能够在多种压力和流量条件下运行。
产品参数
- 频率：13.56MHz
- 功率：最高可达 6kW
- 等离子体密度：>10^12 cm^-3
- 等离子体均匀性：<5%
- 最大自由基流量：可达 6slm
产品规格
- 尺寸：600mm×400mm×300mm
- 重量：20kg
- 安装选项：支持柜内（IP20）和增强的现场安装（IP67/69K） ，能适应不同的安装环境。
- 工作温度范围：依据同类产品推测，可能在 0℃ - 40℃左右，但确切范围需参考产品手册。
