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- AMAT 0010-27983 300mm MCA E-Chuck ESC 加热器
产品描述：
- AMAT 0010-27983 模块实际上是应用材料公司（AMAT）生产的 300mm MCA E-Chuck ESC（静电吸盘）加热器。
- 它用于半导体制造设备中，为 300mm 晶圆提供精确的加热控制。
- ESC 加热器在半导体制造过程中起着关键作用，确保晶圆温度的均匀性和稳定性。
- 此模块主要被使用于半导体生产设备中，对晶圆进行加热。
产品参数和规格：
根据搜索结果，以下是一些关键细节：
- 类型： 静电吸盘（ESC）加热器
- 品牌： 应用材料公司（AMAT）
