| 产品名称 | 泛林（LAM）853 - 049542 - 173 24 通道温度控制电路板组件 |
| 产品描述 | 该模块是泛林半导体专为半导体制造设备打造的核心温度控制电路板组件，核心适配 LAM TCP 9400 等离子体刻蚀设备。它具备 24 通道温度监测与控制能力，可精准把控等离子体刻蚀腔室的温度，避免因温度波动影响半导体材料蚀刻精度。其采用高稳定性电路设计和优质工业级材料，能抵御半导体生产环境中的电磁干扰与化学腐蚀，同时具备易维护的模块化结构，方便在设备检修时快速拆装更换。该组件主要应用于硅、氮化镓、砷化镓等各类半导体材料的蚀刻工艺环节，是保障半导体芯片制造精度和产品良率的关键备件。 |
| 产品参数 | 1. 核心控制参数：拥有 24 路温度控制通道，适配 13.56MHz 的工作频率，工作功率可达 1000W，能精准调节蚀刻腔室的温度以匹配不同半导体材料的加工需求。2. 适配设备参数：专为 LAM TCP 9400 等离子体刻蚀设备设计，搭配平板电极使用，适配 12 英寸规格的刻蚀腔室。3. 环境适配参数：工作温度范围为 20℃ - 80℃，可适应半导体工厂洁净车间内的恒温环境，同时具备一定抗干扰能力，能稳定运行在设备密集的工业电磁环境中。 |
| 产品规格 | 1. 物理规格：采用电路板标准模块化结构，材质选用耐腐蚀、导热性较好的工业级板材，整体尺寸适配 LAM TCP 9400 设备的腔室安装位，重量符合半导体设备配件的轻量化装配需求，便于集成到设备内部的电路单元中。2. 功能规格：具备温度异常反馈功能，可及时将腔室温度偏离信号传递给主控制系统；支持快速插拔式安装，维护时无需拆解设备主体，缩短停机检修时间。3. 适配规格：严格匹配泛林半导体相关蚀刻设备的接口协议与安装标准，与设备控制系统无缝兼容，可直接替换同型号故障组件，无需额外调试适配。 |
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