AMAT 0010-27983 半导体设备专用信号控制 / 电源模块(应用材料公司半导体工艺设备核心配件,支持设备信号调理、控制指令执行或辅助电源供给,适配刻蚀、薄膜沉积等半导体制造场景)
二、产品描述
AMAT 0010-27983 是应用材料(AMAT)专为半导体高端制造设备设计的专用功能模块,核心功能是为半导体刻蚀机、化学气相沉积(CVD)设备或物理气相沉积(PVD)设备提供关键信号处理与控制支持 —— 既可对设备传感器反馈的微弱信号(如压力、温度、晶圆位置信号)进行隔离、滤波与放大,输出稳定的数字 / 模拟控制信号至设备执行机构(如阀门、电机),也可作为辅助电源模块,为设备低压控制回路提供高精度、低纹波的直流电源,解决半导体工艺中 “信号干扰导致工艺精度下降、电源波动影响设备稳定性” 等痛点。
模块采用 “高洁净度封装 + 抗干扰设计”:外壳与内部元器件均符合半导体行业洁净室标准(Class 1 级洁净度兼容),避免颗粒污染影响晶圆制造;内部集成多重电磁屏蔽层与滤波电路,可抵御半导体设备高频射频(RF)干扰(如刻蚀机 RF 电源干扰),确保信号传输误差≤0.1%;同时具备过流、过压、过热保护功能,当模块自身或下游回路出现故障时,可快速切断输出,避免损坏昂贵的半导体工艺设备。
该模块为 AMAT 设备原厂配件,与 AMAT Centura、Endura 等系列半导体工艺平台高度兼容,是保障半导体制造过程中设备稳定运行、工艺参数精准控制的关键组件,广泛应用于 12 英寸及以上晶圆的先进制程(如 7nm、5nm)制造环节。
ABB PPD513A0E-110110 3BHE039724R0E41
H200, RTX4090, RTX5090
S-093S 3BHB030475R0009和S-093S 3BHB030475R0309
ABB PCS 6000 Wind
3BHE055094R0002 GBU72
ABB GRID BREAKER UNIT GBU72 3BHE055094R0002 / 3BHE031197R0001 / 3BHB030310R0001
ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY
AMAT 0010-27983
ABB S-073N ALU 3BHB009884R5211
ABB S-093H 3BHB030478R0309
ABB S-123H 3BHB030479R0512
ABB UFC912A101 3BHE039426R0101
ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001
ABB S-113N 3BHB018008R0001
EMERSON A6370D 9199-00040

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