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MPG400 PN351-011 反磁控皮拉尼真空计模块（英福康宽量程真空测量单元）
产品描述
MPG400 PN351-011 模块是英福康（INFICON）专为工业及科研领域的真空测量需求精心打造的一款高性能宽量程真空计模块。它创新性地融合了反磁控与皮拉尼两种测量技术，能够精准覆盖从超高真空到大气压的极宽压强范围，即 5 x 10⁻⁹毫巴至 1000 毫巴（3.8 x 10⁻⁹托至大气压），为各类对真空环境要求严苛的应用场景提供了可靠的测量解决方案，在半导体制造、真空镀膜、科研实验以及高端电子设备生产等行业广泛应用。
在半导体芯片制造的刻蚀工艺环节，该模块凭借其卓越的测量精度，实时监测真空腔室的压强变化。当压强出现 ±0.001 毫巴的微小波动时，MPG400 PN351-011 能迅速捕捉并将数据反馈至控制系统，确保刻蚀过程的稳定性，有效提升芯片制造的良品率约 15%。在科研机构的真空实验中，针对不同实验阶段对真空度的不同要求，从超高真空的原子物理实验到相对较高真空度的材料合成实验，该模块都能准确测量并适配，助力科研人员获取精确的实验数据，推动科研项目的顺利进展。
模块采用紧凑坚固的外壳设计，具备良好的抗冲击和抗振动性能，内部电路经过优化布局与电磁屏蔽处理，可有效抵御外部电磁干扰。防护等级达到 IP40，适合安装在各类真空设备的标准接口处。工作温度范围为 +5℃至 +55℃，存储温度范围为 -40℃至 +65℃，可在相对湿度 5% - 95%（无冷凝）的环境下稳定运行。平均无故障工作时间（MTBF）超过 50,000 小时，与英福康的 VGC40x
